【壓縮機網(wǎng)】超精密加工經(jīng)過數(shù)十年的努力，日趨成熟，不論是超精密機床、金剛石工具，還是超精密加工工藝已形成了一整套完整的超精密制造技術系統(tǒng)，為推動機械制造向更高層次發(fā)展奠定了基礎，現(xiàn)在正在向納米級精度或毫微米精度邁進，其前景十分令人鼓舞。但是從另一個角度來分析，隨著科技的發(fā)展，對它的要求越來越高，而現(xiàn)實的情況又受到技術水平的制約，依然存在許多困難。　　 　　 1綜述　　 　　 超精密加工技術是一門綜合性的系...